Титановый целевой блок

Примеси в твердых веществах титанового целевого блока и кислорода и влаги в полях являются основными источниками загрязнения в депонированных пленках. Цели для разных приложений имеют разные требования для разных примесей. Например, чистые цели по алюминиевым и алюминиевым сплавам для полупроводниковой промышленности имеют особые требования для содержания щелочных металлов и содержания радиоактивных элементов.

Чтобы уменьшить поры в целевых твердых веществах и улучшить производительность пленок с распылением, цель обычно должна иметь высокую плотность. Плотность цели не только влияет на скорость распыления, но и влияет на электрические и оптические свойства пленки. Чем выше плотность цели, тем лучше исполнение фильма. Кроме того, увеличение плотности и прочности цели позволяет цели лучше противостоять тепловым напряжениям процесса распыления. Плотность также является одним из ключевых показателей производительности целевого материала, размера зерна и распределения размеров зерна.
Обычно цель - поликристаллическая структура, размер зерна может быть от микрона до миллиметра. Для той же вида цели скорость распыления цели с тонкими зернами быстрее, чем у цели с грубыми зернами; и распределение толщины пленки, осажденной путем распыления цели с небольшой разницей в размере зерна (равномерное распределение), является более равномерным.